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定制氯化氢基激光混配气
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0.05%HCL/0.46%Xe/200ppmH2/Ne
HCL/Xe/H₂/Ne
0.1%HCL/1.9%Xe/Ne
HCL/Xe/Ne
4.5%HCL/0.9%H₂/Ne
HCL/H₂/Ne